계량 설비 전문업체 에이엔티 주식회사 입니다.

오늘은 웨이퍼 측정이라는 주제로 포스팅을 진행해 보겠습니다.
난이도가 높은 주제지만 조금이나마 도움이 될 수 있도록
다양한 사진과 영상을 준비했습니다.

정밀저울 칭량에 대한 상담을 하다보면 난이도가 높은 과제를 받을 때가 종종 있습니다.
가능여부를 확인 하기 위한 지그를 제작 하기도 하고
프로그램으로 가능성 여부를 체크 하기도 합니다.
그리고 당사에서는 종합적으로 고려해 고객분께 제안해 드립니다.

저희 고객사에서 300mm 크기의 웨이퍼를 1mg 단위로 측정하시길 원하셨습니다.
얇고 넓은 웨이퍼를 1mg 단위 측정한다는 것은 여러 가지를 고려하게 합니다.

보통 1mg 저울은 계량판이 150mm를 넘지 않습니다.
칭량 오차를 줄이기 위해 계량판 중심부에 샘플이 들어와야 하는데
300mm는 면적이 너무 크고 1mg 정밀도는 샘플 크기에 비해 너무 정밀한 조건입니다.

샘플의 면적이 넓어 생기는 기류 영향도 무시하지 못합니다.
넓고 가벼운 샘플을 계량팬에 올려놓을 때 하압기류로 최대 10mg까지 오차가 생겼습니다.

샘플이 지면과 수평 각도를 벗어나 계량 팬에 올려져도 오차가 발생했고
정전기로 인해서도 오차가 발생했고
큰 면적에 가해지는 대류 현상도 오차의 원인이었습니다.

이 모든 종합적인 문제점을 확인하고 당사는 간이 지그를 통해 테스트를 진행했고
가능성을 확인하여 고객님께 제안 드렸습니다.

고객님께서 프로토 제품으로 칭량한 데이터를 확인 후
매우 만족해하시며 바로 발주를 주셔서 제작에 들어갔습니다.
발주부터 완성까지 최종 3번의 중간 미팅이 있었으며
미팅마다 요구하신 사항을 전부 반영해 드렸습니다.

작업자가 웨이퍼를 장비에 안착 시키면 자동 계량이 시작됩니다.

계량 횟수를 설정할 수 있으며 계량 완료 후 경광등을 통해 완료 신호를 줍니다.
작업자는 칭량 중 다른 업무에 집중할 수 있습니다.
작업자, 시간, 최저, 최고, 표준편차와 같은 데이터는 모두 전산에 기록 보관됩니다.|

현장 사정을 반영한 요구 사항까지 모두 반영하여 납품 및 설명드렸습니다.

칭량의 정밀도를 높이려 부단한 노력을 하고
칭량 데이터를 이용한 프로그램 개발까지 많은 공을 들인 설비라
매우 뿌듯한 프로젝트였습니다.

동일 또는 유사 사례 관련 상담을 원하실 경우 아래 링크를 클릭 해 주세요

상담 의뢰하기